Tabela I
Lp.
Odległość od wrzeciona [mm]
Pomiar odchylenia poziomicą techniczna We=0,05mm/m
Pomiar odchylenia poziomicą koincydencyjną w układzie bazy
L=270mm
Pomiar odchylenia lunetą i kolimatorem
We=1’=0,3mm/m
1
270
0,333
0,037449
19
0,364519
134
5,002667
2
540
5
0,561728
93,5
1,793815
70
2,613333
3
810
-0,75
-0,084259
0
4
1080
-2,5
-0,280864
177
3,395778
184
6,869333
1350
-3
-0,337037
164
3,14637
172
6,421333
6
1620
-3,5
-0,39321
155,5
2,983296
157
5,861333
Tabela II
Odległość od skrajnego granicznego położenia suportu
[mm]
Wartość odczytana wysokości znaku optycznego łaty dla
We=0,05mm [m]
Bezwzględna wartość błędu prostoliniowości przemieszczeń stołu po usunięciu trendu [mm]
0,3533
200
0,3132
-0,0401
400
0,3911
0,0378
600
0,4667
0,1134
800
0,5675
0,2142
1000
0,6532
0,2999
7
1200
0,7236
0,3703
...
oxide90